在光刻工序中，通过“软烘烤”和“硬烘烤”步骤来确定光阻层的特性。如果温度偏差达到2度，就会导致光阻层质量下降，出现缺陷。因此，加热源的温度必须与光阻剂的化学性质相匹配——既不能过高，也不能过低。必须始终保持恒定的温度曲线。 关键因素 我们使用能够发出短波能量的红外线灯，这些能量恰好符合光阻剂的吸收...

在光刻工艺中，烘烤步骤并非简单的暂停过程，而是一种确保工艺参数处于规定范围内的手段。光刻胶的性能受温度影响极大，哪怕温度偏差仅几十分之一度，都可能导致线条宽度出现误差，而这种误差在电气测试时才能被发现。在大规模生产环境中，这样的误差意味着产品需要被废弃并重新加工。因此，我们设计了精密温度控制装置，...