在光刻工序中，通过“软烘烤”和“硬烘烤”步骤来确定光阻层的特性。如果温度偏差达到2度，就会导致光阻层质量下降，出现缺陷。因此，加热源的温度必须与光阻剂的化学性质相匹配——既不能过高，也不能过低。必须始终保持恒定的温度曲线。
关键因素 我们使用能够发出短波能量的红外线灯，这些能量恰好符合光阻剂的吸收特性，其光谱输出也正好对应光阻剂最敏感的波长范围。在烘烤过程中，晶圆表面的温度均匀性可保持在±0.1°C之间，而不同批次之间的温度稳定性则可保持在±0.5°C以内。石英外壳及反射器的设计有助于减少颗粒物的产生，整个系统也符合1-100级洁净室的标准。在5,000小时以上的使用后，其输出强度仍能保持稳定，强度变化率不到5%。
这就是该系统能够在生产中持续稳定运行的原因。
这些灯可以24/7连续工作，不会因意外停机而影响生产进程。它们能在几秒钟内达到设定温度，并保持该温度，从而降低能源消耗。这样一来，废品数量就会减少，返工也会减少，同时还能实现精确的控制。由于各台设备上的温度曲线都保持一致，因此设备的调试速度更快，工艺转移也更加可靠。
一些实用建议 在安装时，需要确保灯的电压、接口尺寸与设备要求相匹配。输出强度受灯与基片之间的距离影响，因此我们需要明确规定的距离范围，并建议定期重新校准温度计。对于深紫外光阻剂，还需要与供应商确认其光谱特性——因为某些光阻剂需要更窄的光谱范围。此外，还需提前规划好冷却系统和电磁干扰的解决方案，这样才能确保颗粒物数量和干扰程度都在规定范围内。