防止烧坏的灯管毁掉整批产品 在对硅片进行高功率处理的过程中，如果灯管发生故障，那简直就是一场灾难。这不仅会导致生产中断，还会带来其他问题。想象一下，石英灯管爆裂后，玻璃碎片和卤素气体会直接溅到硅片上，这样一来，整批产品就毁了，而且洁净室也会变得一团糟。这无疑是一场代价高昂且令人沮丧的灾难。 因此，...

保持晶圆清洁：我们如何应对高负载下的红外加热问题 说实话，当红外灯在过高负载下工作时，情况会变得非常糟糕。这不仅仅是设备停机的问题——玻璃碎片和钨丝会直接掉落在晶圆上。一旦某个灯管损坏，整个批次的产品都会报废。 我们花了大量时间来研究如何避免这种情况的发生。 秘诀在于反射器 大多数人认为铝制反射器...

如何保持100级洁净室的清洁状态 在100级洁净室中工作时，哪怕是一丁点灰尘都会带来严重问题。因为大多数加热器都会释放出微小的颗粒物，而此时我们恰恰需要一个绝对无菌的环境。 为了解决这个问题，我们将高纯度石英红外灯与镀金反射器结合在一起使用。 为什么选择黄金？ 虽然听起来很高端，但实际上这是基于物...