为什么红外加热器会损坏？以及如何避免这种情况 关于红外加热器，有一个小秘密：其实，通常不是加热元件本身出了问题，而是连接点——也就是导线与石英管相接的地方——先出现故障的。 当这些加热器处于极限工作状态时，热量不会只流向预定的方向，而是会沿着导线反向传导。 密封不良带来的后果 大多数廉价加热器都使...

停止浪费热量：更有效的晶圆加热方式 传统红外线灯的缺点在于，它们会将热量向各个方向散发。在半导体生产环境中，这种情况简直就是一场噩梦——那些昂贵的设备所释放的能量，没有多少能作用于晶圆上，大部分都浪费在了腔体壁上。这样一来，腔体壁就会变得过热，这不仅会损害敏感的晶圆，还会对操作人员构成安全隐患。...