在光刻线上，软烘烤温度即使偏移半度，也足以导致CD曲线偏移，进而烧掉一小时的晶圆启动时间。我们设计了燃料电池催化剂干燥灯，以消除热预算中的这种波动。它在近红外（NIR）波段快速加热，干热与光刻胶的吸收峰匹配，实现可重复的溶剂去除且无超调。 技术要点 该灯采用窄带近红外光源，实现快速的体积加热。这意...

在生产线上，钙钛矿堆栈不会静止等待。溶剂必须挥发，晶体必须成核，界面必须保持完整——而且热预算极其有限。一个热点，一个冷边，电池就会脱离工艺窗口。良率几乎随着周期时间的增加而迅速下降。 我们为这种现实开发了钙钛矿太阳能电池干燥灯。我们将薄膜干燥视为前端半导体热处理步骤——因为归根结底，它就是这样一...