近红外光晶圆干燥机

在工厂里，人们会学会处理那些看似微不足道的问题。在软烘过程中，如果温度偏差超过0.1℃，就可能导致关键尺寸出现偏差，进而导致大量晶圆报废。传统的加热板无法有效克服热惯性问题，而近红外晶圆干燥机则可以做到这一点。 我们所设计的设备及其重要性 我们基于近红外辐射加热技术来设计这款干燥机。其优势在于能够...