定制红外加热器用于晶圆

在晶圆制造车间，光刻胶烘烤不是简单的预热环节，而是控制线宽的热工关口。晶圆上温度波动2℃，将导致关键尺寸超出规格；烘烤过程中产生的微粒甚至可能在刻蚀开始前就毁坏器件。基于这一现实，我们为晶圆处理定制了红外加热器。 技术关键点 我们采用近红外发射器，具备严格的光谱控制，实现快速、直接耦合加热。这显著...