为何我们要对每一盏灯进行测试？这对您的生产过程有何重要意义？ 在制造过程中，需要同时处理高功率的加热设备以及极其敏感的电子元件。这种环境充满了风险——一旦绝缘层出现微小的瑕疵，整个生产线就可能会停止运转。更糟糕的是，还可能出现严重的短路情况，导致一切设备都停止工作。 因此，我们不会采取“批量抽样检...

利用镀金反射式加热器最大化MEMS晶圆的干燥效果 我们设计这种加热器的理由很简单：确保输入的每一瓦特电能都能转化为作用于晶圆上的精准热量。因为在MEMS制造过程中，干燥并不仅仅是让物体变热而已，关键是要实现精确、可重复且可控的热量传递。 热量产生的原理 该加热器的核心是一个高密度加热元件，它能够释...

在晶圆加工过程中，温度的微小变化或缓慢上升都可能破坏本应保持稳定的工艺条件。无论是晶圆干燥、软烘烤还是硬烘烤，都需要稳定、快速且均匀的热量供应。我们使用短波红外石英卤素灯来满足这一需求，这样的灯具无需额外支付高昂成本即可实现精确控制。 关键技术要点 我们选用短波红外石英卤素灯，因为它们能够实现快速...

在光刻线上，软烘烤温度即使偏移半度，也足以导致CD曲线偏移，进而烧掉一小时的晶圆启动时间。我们设计了燃料电池催化剂干燥灯，以消除热预算中的这种波动。它在近红外（NIR）波段快速加热，干热与光刻胶的吸收峰匹配，实现可重复的溶剂去除且无超调。 技术要点 该灯采用窄带近红外光源，实现快速的体积加热。这意...

Out on the line，Micro LED晶圆完成清洗后直接放置于此。表面残留的任何水分都会在光刻胶涂布时导致图案坍塌，一道细痕可能贯穿整个光刻和蚀刻过程——良率直接损失。干燥器必须去除该水膜，同时不能损伤晶圆堆叠结构。 我们着重关注的核心技术 我们围绕严密的热控设计了该晶圆干燥加热器。在...

在生产线上，钙钛矿堆栈不会静止等待。溶剂必须挥发，晶体必须成核，界面必须保持完整——而且热预算极其有限。一个热点，一个冷边，电池就会脱离工艺窗口。良率几乎随着周期时间的增加而迅速下降。 我们为这种现实开发了钙钛矿太阳能电池干燥灯。我们将薄膜干燥视为前端半导体热处理步骤——因为归根结底，它就是这样一...