晶圆加工设备用温度传感器

在半导体制造过程中减少碳排放：为什么红外加热如此有效？ 如果你想让半导体工厂实现碳中和目标，那就不能再依赖那些传统的电阻式加热器了。因为它们实在太浪费能源了。 最近，我们开始使用红外加热灯来为晶圆提供热量。原因很简单：这种加热方式可以直接作用于晶圆表面，无需花费大量能量来加热整个腔体。这是一种更高...