陶瓷红外加热板
在光刻车间,软烘过程中0.5°C的温度漂移绝不是“微小误差”。这意味着整个批次报废,热预算浪费,关键尺寸控制失效。我们设计的陶瓷红外加热板就是为了从根源上阻止这种漂移。
技术要点 该加热板采用陶瓷红外发射元件,通过快速、直接的辐射热作用于晶圆,并在整个表面范围内维持亚毫米级的热均匀性。这样形成的热...
面板加热器
办公室寒冷的影响 寒冷的办公室不仅让肩膀紧绷,还会影响专注力,导致关节僵硬,并使冬季感冒更容易侵袭。强制空气系统在循环灰尘的同时,坐在那里的空气依旧寒冷。红外线面板加热器通过直接加热人来解决这个问题,而不是加热周围的空旷空间。
面板下的重要因素 红外线面板加热器提供的辐射热量可以在不先加热空气的情...
液晶面板制造厂用红外加热器
在线上,温度曲线不是建议——它就是工艺。在 LCD 面板制造厂,光刻胶层叠结构、基板温度和烘烤曲线直接决定线宽、侧壁角度和缺陷预算。烘烤出现漂移,不仅仅是产量损失。你会失去追溯性,也无法在光刻、刻蚀和检测数据间闭环控制。
我们设计的红外加热器正是针对这种实际需求:温度能够稳定保持在工艺所需的位置...