别再浪费时间等待晶圆加热了 如果你曾在半导体工厂工作过，那么你一定了解“等待”带来的痛苦。在深度加工过程中，最耗时的环节往往不是加工本身，而是晶圆的预热和冷却过程。传统的强制空气加热方式效率极低——其实只是把热空气吹遍整个房间，希望晶圆能接收到足够的热量来完成加工。这种方式速度慢，效率低，还会降低...

别再为那些在易爆环境中的红外灯而烦恼了。说实话，把红外灯放在化学清洁环境中实在是一件令人担忧的事。当周围全是易燃溶剂和爆炸性气体时，就相当于在玩火一样。哪怕有个小火花或灯具外壳出现裂纹，都可能引发火灾。 因此，我们决定不再使用传统结构的红外灯，而是改用带有智能传感器的装置。这样更安全。 防止有害物...

别再让加热器破坏你的氢传感器了 如果你曾经在100级洁净室中工作过，那么你就知道那里的处境有多糟糕。你不得不不断与那些看不见的污染物作斗争。 最糟糕的问题就是气体释放问题。大多数普通加热元件实际上都是污染源——当温度升高时，它们会释放出微小的颗粒物或挥发性有机化合物。这样一来，传感器的灵敏度就会下...

在半导体制造过程中减少碳排放：为什么红外加热如此有效？ 如果你想让半导体工厂实现碳中和目标，那就不能再依赖那些传统的电阻式加热器了。因为它们实在太浪费能源了。 最近，我们开始使用红外加热灯来为晶圆提供热量。原因很简单：这种加热方式可以直接作用于晶圆表面，无需花费大量能量来加热整个腔体。这是一种更高...

利用镀金反射式加热器最大化MEMS晶圆的干燥效果 我们设计这种加热器的理由很简单：确保输入的每一瓦特电能都能转化为作用于晶圆上的精准热量。因为在MEMS制造过程中，干燥并不仅仅是让物体变热而已，关键是要实现精确、可重复且可控的热量传递。 热量产生的原理 该加热器的核心是一个高密度加热元件，它能够释...