燃料电池催化剂干燥灯

在光刻线上，软烘烤温度即使偏移半度，也足以导致CD曲线偏移，进而烧掉一小时的晶圆启动时间。我们设计了燃料电池催化剂干燥灯，以消除热预算中的这种波动。它在近红外（NIR）波段快速加热，干热与光刻胶的吸收峰匹配，实现可重复的溶剂去除且无超调。 技术要点 该灯采用窄带近红外光源，实现快速的体积加热。这意...