在半导体制造过程中减少碳排放：为什么红外加热如此有效？ 如果你想让半导体工厂实现碳中和目标，那就不能再依赖那些传统的电阻式加热器了。因为它们实在太浪费能源了。 最近，我们开始使用红外加热灯来为晶圆提供热量。原因很简单：这种加热方式可以直接作用于晶圆表面，无需花费大量能量来加热整个腔体。这是一种更高...

在光刻工艺中，烘烤步骤并非简单的暂停过程，而是一种确保工艺参数处于规定范围内的手段。光刻胶的性能受温度影响极大，哪怕温度偏差仅几十分之一度，都可能导致线条宽度出现误差，而这种误差在电气测试时才能被发现。在大规模生产环境中，这样的误差意味着产品需要被废弃并重新加工。因此，我们设计了精密温度控制装置，...