无臭氧红外灯

在制造工艺中，软烘烤和硬烘烤阶段才是决定产品质量的关键环节。如果温度偏差超过1℃，或者有热点出现，那么晶圆的尺寸精度就会受到影响。甚至在晶圆进入蚀刻槽之前，其成品率就已经开始下降。 从技术角度来说，什么才是最重要的？ 我们设计的这种无臭氧红外灯，利用近红外光束以及石英-卤素结构来控制热量，从而确保...