别再给机器加热了，直接给晶圆加热吧！
大多数普通的红外灯都会向各个方向散发热量——360度全方位散热。而在半导体加工过程中，设备的空间十分有限，这就成了一个很大的问题。
实际上，很多热量根本不会接触到晶圆，而是直接作用于设备的内部结构上。这样一来，设备上就会出现“高温区”，这些高温区可能会灼伤操作人员，或者损坏精密部件。显然，这可不是什么好事。
解决之道就是定向加热。
我们不再使用普通的石英管，而是采用专门的反射器和涂层来引导红外能量朝特定方向传递。这就好比把普通灯泡换成手电筒——我们可以将光束集中到需要的位置，从而避免机器外壳成为散热源。
至于清洗环节，情况则有所不同。那里有水分和化学蒸汽存在。如果使用普通灯具的话，它很可能会因为短路或端子腐蚀而失效。
因此，我们会使用防水密封装置和耐湿涂层。这样，即使在高湿度环境中使用，也无需担心电路故障或灯具过早损坏的问题。
需要注意的是，定向加热虽然更高效，但它也会改变热量的分布方式。由于能量高度集中，温度梯度会变得更为明显。
如果您的工件表面不平整，或者焦距略有偏差，那么基板上就可能出现高温点。因此，您不能简单地“设置好之后就不管了”——在安装时，必须精确控制灯具的距离和角度，才能确保热量均匀分布。
至于安装方式？其实很简单。我们的产品可以直接替代传统的红外灯阵列。只需确保电源能够支持定向光学元件的功耗即可。