近红外光发射灯泡

在光刻工厂中，光阻的烘烤过程绝非简单的被动加热过程。在软烘阶段，如果温度出现2°C的波动，那么整个批次的光阻厚度就会出现差异。而硬烘过程中的不均匀性则会导致产品质量下降。此外，热循环过程中产生的颗粒物也会在光刻工序开始之前就降低产量。因此，需要的是那种能够实现精确控制、稳定且快速加热的热源。 从技...