洁净室烤箱红外加热器
如何保持100级洁净室的清洁状态
在100级洁净室中工作时,加热的目的并不仅仅是让物品变暖,更重要的是防止颗粒物的产生。
大多数普通的加热元件在这种环境中会带来麻烦——它们会释放出微小的碎片或杂质,虽然这些物质肉眼看不见,但它们会严重损坏硅片或精密镜头。为避免这种情况,我们选择使用高纯度的合成石英...
洁净室红外线加热器
别让洁净室中的加热器成为麻烦的根源 在洁净室里,容错率几乎为零。哪怕有少量灰尘存在都是不可接受的,而一旦出现电气故障,那简直就是一场噩梦。我们在为这些地方制造红外加热器时,虽然加热元件很重要,但真正的危险在于灯管的电气性能是否稳定。
只要绝缘层出现一点点问题,就可能导致整个设施的断电。更糟糕的是,...
洁净室设备升级中
如果您正在运营100级洁净室,那您肯定知道:哪怕有一粒微小的灰尘,都会导致晶圆生产失败。这真是糟糕至极的情况。大多数普通加热元件在这种环境下都无法正常工作,因为它们会在需要保持稳定状态时出现故障或释放有害气体。
因此,我们选择使用高纯度的合成石英红外线灯。
对抗污染的秘诀
我们使用的都是杂质含量极...
半导体洁净室推车式加热器
停止在洁净室里浪费能源来加热空气吧 如果你有过在半导体洁净室工作的经历,就会明白其中的困扰。要确保晶圆保持在合适的温度,同时还要让晶圆能够被移动,这实际上就是与热量流失的持续斗争。
大多数人使用对流式加热器,但问题在于:这些加热器一半的时间都用来加热晶圆周围的空气。这无疑是一种严重的能源浪费,也会...