半导体洁净室推车式加热器

停止在洁净室里浪费能源来加热空气吧 如果你有过在半导体洁净室工作的经历，就会明白其中的困扰。要确保晶圆保持在合适的温度，同时还要让晶圆能够被移动，这实际上就是与热量流失的持续斗争。 大多数人使用对流式加热器，但问题在于：这些加热器一半的时间都用来加热晶圆周围的空气。这无疑是一种严重的能源浪费，也会...