Pare de aquecer a máquina e comece a aquecer as wafers diretamente.
A maioria das lâmpadas infravermelhas convencionais é um pouco problemática: elas emitem calor em todas as direções – 360 graus de energia. Quando se trabalha com equipamentos de semicondutores, isso se torna um grande problema.
Grande parte desse calor nem sequer atinge as wafers. Em vez disso, ele atinge as paredes internas do equipamento. Isso resulta em “zonas quentes” no chassi do equipamento, o que pode danificar os operadores ou as peças precisas utilizadas no processo de produção. Não é ideal.
O truque está no aquecimento direcional.
Em vez de usar apenas um tubo de quartzo, usamos refletores e revestimentos especializados para direcionar a energia infravermelha para onde é necessário. Pense nisso como trocar uma lâmpada comum por uma lanterna. Assim, conseguimos concentrar o calor exatamente onde é preciso, evitando que o gabinete da máquina funcione como um radiador gigante.
Quanto às etapas de enxague, elas são diferentes. Há umidade e vapores químicos presentes no ambiente. Se você usar uma lâmpada convencional, ela provavelmente vai queimar ou se corroer rapidamente.
É por isso que usamos selos à prova d’água e revestimentos resistentes à umidade. Assim, é possível usar esses equipamentos em ambientes com alta umidade, sem preocupações com falhas elétricas ou com a lâmpada queimar prematuramente.
Algumas observações sobre as vantagens e desvantagens:
O aquecimento direcional é muito mais eficiente, mas muda a forma como o calor se comporta. Como a energia é tão concentrada, o gradiente de temperatura fica muito mais intenso.
Se a peça a ser tratada tiver irregularidades ou se a distância focal estiver ligeiramente incorreta, podem surgir pontos quentes na superfície da peça. Não basta simplesmente configurar tudo e esquecer – é preciso ter precisão na distância e no ângulo da lâmpada durante a instalação, para obter um aquecimento uniforme.
Quanto à configuração? É fácil. Nós projetamos esses equipamentos para substituir diretamente os conjuntos infravermelhos convencionais. Basta verificar se sua fonte de alimentação consegue suportar a potência necessária para esses equipamentos, e pronto!