V prostředí výroby se člověk naučí řešit i ty nejmenší problémy. Odchylka teploty o méně než 0,1 °C během procesu zahřívání může narušit rovnováhu mezi jednotlivými složkami procesu a vést k zničení velkého počtu destiček. Tradiční ohřívače bojují s tepelnou inertností. NIR sušičky takový problém nemají.
Co jsme vytvořili a proč je to důležité
Sestrojili jsme tuto NIR sušičku na základě principu záření v blízké infračervené oblasti. Cílem je rychlý přenos energie přímo do vrstvy fotoresistu. Díky tomu dosahujeme rovnoměrnosti teploty na celé ploše destičky v rozsahu ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost je natolik vysoká, že variace mezi jednotlivými šaržemi zůstávají pod hranicemi kontroly procesu. Sušička funguje v čistých prostorách třídy 1–100 bez vzniku jakýchkoliv částic, což potvrzuje monitorování na místě. Tato platforma je navržena pro bezproblémovou práci 24/7, bez jakýchkoliv neplánovaných přerušení během testovacích provozů. Její životnost se pohybuje v řádu desítek tisíc cyklů.
Proč to odpovídá realitám litografie
V litografii procesy zahřívání ovlivňují viskozitu fotoresistu, odstraňování rozpouštědel a tvar struktur na povrchu destičky. S touto NIR sušičkou dokážeme udržet konstantní teplotu na povrchu destičky, nikoli pouze na desce pro její upevnění. Tepelná bilance zůstává konstantní od první šarže až po padesátou.
Díky tomu lze zkrátit dobu zahřívání bez nadměrné spotřeby energie a snížit počet vad spojených s nerovnoměrností teploty. Proces se tím stává efektivnějším a integrace do stávajících zařízení probíhá hladce.
Na co je potřeba se připravit
Pro správné fungování NIR sušičky je potřeba přímý výhled na destičku a řízená cesta odrazu světla. Naskládané nosiče nebo nestandardní úchyty mohou zastínit substrát. Je tedy potřeba použít speciální úchyty a zajistit jejich správné umístění vzhledem k ostatním zařízením. Jakmile je sušička správně zarovnána, poskytuje spolehlivý výkon s minimální údržbou. Avšak tolerance pro její nastavení je přísnější než u systémů založených na kontaktu.