V prostředí výroby není proces zahřívání fotorezistu vůbec pasivní. Odchylka teploty o 2 °C během měkčího zahřívání způsobuje rozptyl hodnot CD v...

V prostředí výroby se člověk naučí řešit i ty nejmenší problémy. Odchylka teploty o méně než 0,1 °C během procesu zahřívání může narušit rovnováhu...