V prostředí výroby není proces zahřívání fotorezistu vůbec pasivní. Odchylka teploty o 2 °C během měkčího zahřívání způsobuje rozptyl hodnot CD v celé šarvátce. Nekonzistentnost při tvrdším zahřívání? To znamená jistou cestu k selhání procesu. Navíc vznik částic během tepelných cyklů může snížit výtěžnost ještě předtím, než dokončí lithografie. Potřebujete tedy teplo, které se chová předvídatelně, čistě a rychle.
Co je z technického hlediska důležité
Používáme emitory v oblasti blízké infračerveného záření, které zajišťují homogenitu teplotního pole na úrovni pod milimetrové, takže teplota desky zůstává v rozmezí ±0,1 °C v celé aktivní oblasti. Reakce je rychlá – nástup a pokles teploty trvají pouze několik milisekund – takže každý cyklus zahřívání probíhá ve stejných podmínkách, v každé šarvátce. Výstupní hodnoty zůstávají stabilní po dobu více než 5 000 hodin, s odchylkou svítivosti a teploty menší než 5 % od nastavené hodnoty. Křemenná obalová vrstva a speciální geometrie vlákna zabraňují vzniku částic, což je nezbytné pro provoz v čistých prostorách tříd 1–100.
Proč to má význam v lithografii
Během procesu lithografie působí emitor v oblasti blízké infračerveného záření přímo na fotorezist – neohřívá se tedy stěny komory. Díky tomu zmizí problémy spojené s tepelným odpojením. Profily měkčího zahřívání zůstávají konzistentní a homogenita povlaku se zlepšuje. Při tvrdším zahřívání dochází k čistému zaschnutí povlaku bez ulpívání rozpouštědel, což snižuje počet vad a zlepšuje selektivitu leptání. Výsledkem je vyšší výtěžnost při prvním průchodu, méně oprav a nižší spotřeba energie – krátké cykly, nízká tepelná hmotnost a nastavitelné hodnoty.
Na co je potřeba si dávat pozor
Emitory v oblasti blízké infračerveného záření jsou ohřívače působící v linii pohledu. Optická zarovnání a vzdálenost mezi jednotlivými prvky musí být přesně stanoveny, jinak dojde ke ztrátě homogenity. Integrátoři musí ověřit kompatibilitu s vaším řídícím systémem, mechanismem zavírání a dalšími prvky. Je potřeba zajistit správnou izolaci, aby nebyly poškozeny moduly v okolí stanice pro zahřívání.