Udržování čistoty v prostředí třídy 100 Když pracujete v prostředí třídy 100, dokonce i nepatrný zákal prachu může způsobit katastrofu. Problém...

Na povrchu litografické desky může teplotní kolísání nebo pomalé zahřívání zničit to, co by mělo být stabilní proces. Sušení polovodičových destiček,...

V prostředí výroby není proces zahřívání fotorezistu vůbec pasivní. Odchylka teploty o 2 °C během měkčího zahřívání způsobuje rozptyl hodnot CD v...