Vlastní infračervený ohřívač pro wafery
Na podlaze výrobní haly není pečení fotorezistu jen rozcvičkou. Je to tepelná brána pro kontrolu šířky linek. Posun o 2 °C přes celý wafer posune...
Infračervený ohřívač pro výrobu LCD panelů
Na lince není teplotní křivka návrhem – je to proces. V továrně na LCD panely přímo fotoresistový stack, teplota substrátu a profil pečení určují...