Jak zabránit tomu, aby vyhořelá lampa zničila celou várku
Při zpracování waferů při vysokém zatížení je vyhoření lampy opravdu noční můrou. Jde nejen o dobu, po kterou musíte přestat s výrobou.
Představte si, že kvartová lampa praskne. Střepy skla a halogenový plyn dopadnou přímo na váš křemík. V takovém případě je celá várka zničena a čistá místnost je v naprostém chaosu. Je to drahá a frustrující katastrofa.
Proto jsme navrhli naše reflektory jako fyzickou ochranu.
Jak reflektor skutečně funguje
Používáme reflexní povrch z vysokostupňově čistého hliníku, který plní dvě funkce najednou. Za prvé, směruje infračervené záření přesně tam, kam potřebuje jít. Za druhé, slouží jako „klec“, která zachycuje většinu úlomků. Místo katastrofálního poškození waferů máme kontrolované selhání. V kanceláři je to tedy mnohem jednodušší.
Jak se vypořádat s teplem
Lampy s vysokým výkonem vytvářejí velmi silné teplotní gradienty. Pokud se toto teplo vrátí do konců lampy, uzávěry se v podstatě spálí. Viděli jsme to už – špatné odvádění tepla u konektorů obvykle způsobí předčasné selhání lampy.
Abychom to vyřešili, používáme leštěný hliníkový nebo pozlacený povrch. Ten odlučuje teplo od elektrod a umožňuje tak lampě fungovat déle.
Kompromis (a jak s ním naložit)
Je tu však jeden problém – protože tento ochranný prvek přidává trochu vzdálenosti mezi vlákno a wafer, může dojít k tomu, že intenzita záření nebude tak vysoká jako u lampy bez tohoto prvků. Pravděpodobně budete muset trochu zvýšit výkon nebo nechat wafery chvíli déle působit v záření. Upřímně? Je to rozumný kompromis. Několik dalších sekund zpracování nic neznamená ve srovnání s náklady na zničení celé várky waferů.
Poslední tip: dávejte pozor na chladicí ventilátory. Ujistěte se, že jsou správně zapojeny a efektivně odvádějí vzduch. Pokud se obal reflektoru příliš zahřeje, může se zakřivit, a tehdy již váš ochranný prvek nefunguje. Udržujte proudění vzduchu a vše bude v pořádku.