Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, wissen Sie bereits, wie wichtig Sauberkeit ist: Schon ein winziger Staubkorn kann dazu führen, dass Ihre Wafer nicht mehr verwendbar sind. Das ist ein Albtraum. Die meisten herkömmlichen Heizelemente sind in solchen Umgebungen ungeeignet – sie zerfallen oder geben Gase ab, gerade dann, wenn man ihre Stabilität braucht.
Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz für die Infrarotlampen.
Der Kampf gegen Kontaminationen
Wir verwenden gefügten Quarz mit extrem niedrigen Spurenelementgehalten. Warum? Denn bei hohen Temperaturen beginnen billige Materialien, metallische Ionen abzugeben. Hier finden Sie keine Metallbeschichtungen – nichts, was oxidiert oder abblättert und Ihre Produkte zerstört.
Und nun zu den Dichtungen: Das ist meistens der Punkt, an dem die Lampen versagen. Wir verwenden spezielle Glas-Metall-Dichtungen, damit die internen Halogengase genau dort bleiben, wo sie hingehören – nämlich innerhalb des Glases. Nicht in Ihrer Produktionszone.
Wärme, die wirklich wirkt
Diese Lampen arbeiten im Kurzwellen-Infrarotbereich. Anstatt nur die Luft um das Bauteil zu erwärmen, gelangt die Wärme direkt ins Substrat. Dadurch entsteht eine viel präzisere und kontrolliertere Wärmeverteilung.
Außerdem stecken wir eine hohe Leistung in einen kleinen Raum – damit die Heizanlage kompakt bleibt. Aber Achtung: Diese Lampen werden sehr heiß. Wenn Sie mehr als 2000 Watt in einem kleinen Gehäuse nutzen, stellen Sie sicher, dass die Kühlung ausreicht. Sie möchten schließlich nicht, dass Ihre Temperatursensoren ausfallen, weil das Gehäuse zu heiß wird.
Installation und Betrieb
Wir haben die Anschlüsse so gestaltet, dass man die Lampen einfach einsetzen kann. Egal, ob Sie R7- oder SK-Serie-Anschlüsse verwenden – die Passform ist perfekt. Das ist wichtig: Eine lockere Passform führt zu elektrischen Entladungen, und diese wiederum erzeugen Ozon und Partikel. In einem Reinraum ist das natürlich inakzeptabel.
Ein letzter Tipp: Verwenden Sie bitte Hochtemperatur-Fluorkunststoffkabel. Wenn Sie normales PVC verwenden, wird dieses schmelzen und Gase abgeben – dadurch geht Ihr „Klasse 100“-Status in Sekundenschnelle verloren.
Halten Sie sich an die Reinheitsanforderungen und sorgen Sie dafür, dass die Kühlsysteme ordnungsgemäß funktionieren. Dann werden diese Lampen tausende von Zyklen lang eine konstante Leistung liefern.