Umgang mit thermischer Strahlung in der Halbleiterfabrik
Haben Sie schon einmal versucht, die Oberfläche eines Geräts zu berühren – und dabei fast Ihre Hand verbrannt? Das ist das Problem bei herkömmlichen Infrarotheizern: Sie strahlen Energie überall hin aus.
In einer engen Halbleiterfabrik ist das ein Albtraum. Wenn der Rahmen des Geräts wie eine Heizung funktioniert, besteht nicht nur ein Sicherheitsrisiko für das Personal, sondern auch Energie wird verschwendet. Zudem kann dadurch die Kalibrierung der empfindlichen Komponenten neben dem Gerät beeinträchtigt werden.
Fokussierung der Wärme
Wir lösen dieses Problem, indem wir auf direktionale Infrarotheizlampen zurückgreifen. Stellen Sie sich vor: Anstelle eines einfachen Quarzrohrs, das Wärme in alle Richtungen abstrahlt, nutzen diese Lampen Reflektoren sowie spezielle Beschichtungen, um die Energie in einem schmalen Strahl zu bündeln. Die Wärme gelangt somit direkt auf die Wafer. Punkt.
Dadurch wird verhindert, dass die „überschüssige“ Wärme in die Wände des Gehäuses dringt. Man erhält genau die Temperatur, die benötigt wird – ohne dass das gesamte Gehäuse zu einer Art Heizzylinder wird.
Die Nachteile
Es gibt jedoch einen Haken: Da alle Energie in einem Punkt konzentriert wird, wird die Lampe selbst extrem heiß – viel heißer als ein herkömmlicher Heizer. Man kann diese Lampen nicht einfach so einbauen und vergessen. Man muss sicherstellen, dass die Befestigungsrahmen die Hitze aushalten können. Zudem muss man dafür sorgen, dass die Luftzirkulation richtig funktioniert, damit das Gehäuse gekühlt werden kann – auch wenn der Rest des Gehäuses kühl bleibt.
Warum das wichtig ist
Wenn man auf direktionales Heizen setzt, muss man sich nicht mehr um eine starke Isolierung der Innenwände kümmern. Dadurch wird die gesamte Anlage einfacher zu handhaben. Anstatt gegen unerwünschte Wärme anzukämpfen, wird die Energie genau dorthin geleitet, wo sie gebraucht wird. Die Geräte bleiben sicher, die Mitarbeiter zufrieden – und das Klimasystem muss nicht überlastet werden, um zu verhindern, dass der Raum überhitzt.