Hören Sie auf, Ihre Maschine zu erhitzen – und heizen Sie stattdessen die Wafer.
Die meisten Standard-Infrarotlampen sind ziemlich unpraktisch. Sie geben Wärme in alle Richtungen ab – also in 360 Grad. Wenn man mit Geräten arbeitet, deren Platzbedarf sehr begrenzt ist, stellt das ein großes Problem dar.
Ein großer Teil der Wärme erreicht die Wafer überhaupt nicht. Stattdessen trifft sie die Innenwände der Geräte. Dadurch entstehen sogenannte „heiße Zonen“, die dazu führen können, dass der Bediener verbrannt wird oder dass die präzisen Bauteile beschädigt werden. Das ist natürlich nicht ideal.
Der Trick liegt im gezielten Heizen.
Anstatt einfach nur einer herkömmlichen Quarzlampe zu verwenden, nutzen wir spezielle Reflektoren und Beschichtungen, um die Infrarotenergie gezielt voranzutreiben. Stellen Sie sich das wie den Wechsel von einer herkömmlichen Glühbirne zu einer Taschenlampe vor: Wir konzentrieren die Wärme genau dort, wo sie benötigt wird – und verhindern so, dass der Maschinenkörper wie ein riesiger Radiator fungiert.
Bei den Spülstationen ist die Situation wieder anders: Dort gibt es Feuchtigkeit sowie chemische Dämpfe. Eine herkömmliche Lampe würde dort wahrscheinlich schnell versagen oder an den Anschlüssen korrodieren. Deshalb verwenden wir wasserdichte Dichtungen sowie feuchtigkeitsresistente Beschichtungen. So kann man diese Geräte auch in Umgebungen mit hoher Luftfeuchtigkeit verwenden, ohne Angst vor Stromausfällen oder einer vorzeitigen Zerstörung der Lampe haben zu müssen.
Kurze Hinweise zu den Vor- und Nachteilen:
Gezieltes Heizen ist zwar viel effizienter, doch dadurch ändert sich auch das Verhalten der Wärme. Da die Energie so konzentriert wird, ist der Temperaturgradient deutlich größer. Falls Ihre Bauteile uneben sind oder die Fokallänge etwas falsch eingestellt ist, können auf dem Substrat heiße Stellen entstehen. Man kann nicht einfach „alles so lassen“ – man muss bei der Installation auf die genaue Position und den Winkel der Lampe achten, um eine gleichmäßige Wärmeverteilung zu erreichen.
Was die Installation angeht: Das ist ganz einfach. Wir haben diese Geräte so konzipiert, dass sie als Ersatz für herkömmliche Infrarotarrays verwendet werden können. Überprüfen Sie einfach, ob Ihre Stromversorgung ausreicht, um die benötigte Leistung bereitzustellen – dann kann alles losgehen.