Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Eine bessere Methode, um Ihre Wafer zu erwärmen
Das Problem mit herkömmlichen Infrarotlampen ist, dass sie die Wärme in alle Richtungen abgeben. Wenn man in einer Halbleiterwerkstatt arbeitet, ist das ein Albtraum. Man hat schließlich teure Ausrüstung – doch anstatt dass die Energie auf die Wafer trifft, geht ein großer Teil davon in die Innenwände der Kammer. Dadurch entstehen „heiße Wände“, was nicht nur eine Bedrohung für die empfindlichen Komponenten darstellt, sondern auch eine echte Gefahr für die Personen, die die Maschine bedienen.
Die Wärme genau dorthin leiten, wo sie hingehört
Wir lösen dieses Problem, indem wir auf directional-infrarote Technologie zurückgreifen. Stellen Sie sich das eher wie einen gezielten Lichtstrahl vor – und weniger wie eine gewöhnliche Glühbirne. Wir verwenden Reflektoren sowie spezielle Beschichtungen, um die Photonen genau dorthin zu lenken, wohin sie benötigt werden. Durch die Verengung des Winkels konzentrieren wir die Energie direkt auf die Oberfläche der Wafer. Die „verlorene“ Wärme, die normalerweise in die Kammerwandungen gelangt, verschwindet einfach.
Das Ergebnis? Ihre Wafer erreichen die Zieltemperatur viel schneller – während die Wände der Ausrüstung weiterhin kühl bleiben. Das ist eine viel effektivere Arbeitsmethode.
Der Ausgleich zwischen Leistung und Entfernung
Es ist immer wieder schwierig, herauszufinden, wo man die Lampe installieren sollte. Wenn man sie zu nah platziert, entstehen Hotspots – oder schlimmer noch: Die Waferoberfläche wird beschädigt. Wenn man die Lampe hingegen zu weit entfernt platziert, verliert man die nötige Intensität zur schnellen Erhitzung der Wafer. Wir ermitteln diese Position in der Regel anhand der Leistung der Lampe sowie der Entfernung dazu. Eine Hochleistungs-Lampe ist ideal, denn sie ermöglicht es, einen größeren Sicherheitsabstand einzuhalten, ohne an Leistung zu verlieren.
Was das für Ihre Kosten bedeutet
Der Vorteil ist, dass Sie nicht mehr auf diese riesigen Kühlsysteme für die Kammerwände angewiesen sind. Sie sparen somit Platz und Geld für die Kühlkosten. Ein Tipp: Halten Sie die Reflektoren sauber. Wenn sich Schmutz darauf ansammelt, wird der Lichtstrahl gestreut – und die „heißen Wände“ kehren wieder zurück.