دیگر انرژی را برای گرم کردن هوای اتاقهای تمیز هدر ندهید!
اگر تا به حال در یک اتاق تمیز مربوط به فرآوری نیمههادیها بودهاید، میدانید که حفظ دمای مناسب ویفرها در حین جابجایی آنها، کاری بسیار دشوار است.
اکثر افراد از بخاریهای مبتنی بر اصل همرفت استفاده میکنند؛ اما مشکل اینجاست که این بخاریها نیمی از زمان خود را صرف گرم کردن هوای اطراف ویفرها میکنند. این کار، هدررفت عظیم انرژی و افزایش آلایندههای کربنی است.
ما تصمیم گرفتیم که دیگر با هوا مبارزه نکنیم، بلکه روی خود ویفرها تمرکز کنیم. به همین دلیل از سیستمهای تابش مادون قرمز کوتاهامواج در واگنهای حمل و نقل استفاده میکنیم.
نحوه کارکرد این سیستمها
میتوانید آن را مانند خورشید در نظر بگیرید. بخاریهای مادون قرمز به جریانهای هوایی اهمیتی نمیدهند؛ آنها تابش الکترومغناطیسی ارسال میکنند که بلافاصله به ویفرها انرژی میدهد.
از آنجایی که این تابش مستقیم است، لازم نیست دمای کل اتاق را بالا ببرید تا ویفرها گرم بمانند. وقتی که از بخاریهای معمولی به سیستمهای مادون قرمز روی آوردیم، کاهش مصرف انرژی برای هر ویفر بسیار چشمگیر بود.
نحوه نصب این سیستمها
فضا در واگنهای اتاقهای تمیز چیزی گرانقیمت است؛ بنابراین نمیتوانید یک بخاری بزرگ روی آنها نصب کنید.
برای حفظ فضای کم، از لامپهای کوارتز با چگالی انرژی بالا استفاده میکنیم. این لامپها انرژی لازم را 제공 میکنند، بدون اینکه سختافزارهای بزرگی مانع کار شوند. همچنین از لامپهای پر از هالوژن استفاده میکنیم تا گرما به طور یکنواخت حفظ شود؛ همچنین روی شیشهها لایههای ویژهای اضافه میکنیم تا گرما مستقیماً به ویفرها منتقل شود، و فریم واگن دچار آسیب نشود.
مشکلات و راهحلها
البته، همه چیز آسان نیست؛ چند مشکل وجود دارد که باید به آنها توجه کرد.
لامپهای مادون قرمز در عرض چند ثانیه گرم میشوند؛ این موضوع برای سرعت کار بسیار خوب است، اما باعث فشار زیاد بر منبع تغذیه میشود.
اگر سیمکشی واگن بیش از حد نازک باشد، ولتاژ کاهش خواهد یافت؛ این موضوع باعث میشود دمای ویفرها یکنواخت نباشد. مطمئن شوید که سیستم الکتریکی واگن بتواند این فشار را تحمل کند.
همچنین، لامپها در نهایت خراب میشوند؛ جایگزینی آنها کاری دستی است. هیچ کس نمیخواهد چهار ساعت وقت بگذارد تا یک لامپ خراب را تعویض کند.
ما این مشکل را با استفاده از اتصالات سریع حل کردیم؛ تکنسینها میتوانند لامپها را به سرعت تعویض کنند، و کار را ادامه دهند.