על רצפת הליתוגרפיה, בשלבי החימום הרך והקשה, נקבע הפרופיל של הפוטורזיסט. אם הטמפרטורה משתנה בשני מעלות בלבד, עלולים להיווצר שינויים באיכות המוצר. מקור החום חייב להתאים לתכונות הכימיות של הפוטורזיסט – ללא עלייה או ירידה בטמפרטורה. חייב להיות פרופיל תרמי מדויק, בכל פעם.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום שמפיקות אנרגיה בגלים קצרים, בהתאם לדרך שבה הפוטורזיסט סופג את האנרגיה. הטמפרטורה על פני השטח של הוופר נשמרת בטווח של ±0.1°C, והדיוק של ערך הטמפרטורה נשמר בטווח של ±0.5°C בין אספקות שונות. המבנה של הקוורץ והמחזירים מותאם כך שיימנעו יצירת חלקיקים, והמערכת מתאימה לתנאי חדר נקי מסוג 1–100. האינטנסיביות של האור נשארת יציבה לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי של פחות מ-5%.
זו הסיבה שהמערכת עובדת כראוי בתהליך הייצור. הנורות פועלות 24/7, ללא הפסקות בלתי צפויות, כך שהתהליך של הפוטורזיסט נשאר יציב. הן מגיעות לערך הרצוי של הטמפרטורה בתוך שניות, ושומרות עליו ללא שינויים, כך שניצול האנרגיה יורד. התוצאה היא פחות וופרים שצריך לזרוק, פחות עבודה חוזרת, ושליטה מדויקת ברוחב הקווים. ומכיוון שהפרופיל התרמי נשאר עקבי בין הכלים השונים, האימות נעשה במהירות, והעברת התהליך נשארת עקבית.
כמה הערות שימושיות: ההתקנה דורשת התאמה של הנורה למתח, לחיבורים ולממדי הפתח של הכלי. האינטנסיביות של האור תלויה במרחק בין הנורה לבין המשטח, לכן אנו ממליצים על כיול תקופתי של הפירומטר. במקרה של פוטורזיסטים לקרינה UV עמוקה, יש לוודא שהספקטרום של האור תואם את הדרישות – חלק מהחומרים דורשים טווח ספקטרלי צר יותר. יש לתכנן את הקירור ואת מסלולי ה-EMI מראש, כדי שמספר החלקיקים וההפרעות יישארו בתוך הפרמטרים המותרים.