अपने वेफरों के गर्म होने का इंतज़ार करके समय बर्बाद मत करें।
यदि आपने कभी सेमीकंडक्टर निर्माण संयंत्रों में काम किया है, तो आपको “इंतज़ार” करने की पीड़ा का अहसास होगा।
गहन प्रसंस्करण प्रक्रिया में सबसे बड़ी बाधा आमतौर पर प्रसंस्करण प्रक्रिया खुद नहीं, बल्कि उस प्रक्रिया को शुरू करने एवं वेफरों को ठंडा करने में लगने वाला समय है। पारंपरिक वायु-संचालित प्रणालियाँ बहुत ही धीमी होती हैं… आप बस कमरे में गर्म हवा फैलाते हैं, और उम्मीद करते हैं कि वेफरों पर पर्याप्त गर्मी पहुँचेगी। यह बहुत ही धीमी प्रक्रिया है, जिससे उत्पादन दर कम हो जाती है।
इसके विपरीत, आईआर ऊष्मा-उत्पन्न करने हेतु विद्युत-चुम्बकीय विकिरण का उपयोग करता है… यह ऊर्जा-उत्पन्न करने का एक बिल्कुल ही अलग तरीका है।
यह क्यों कारगर है?
हवा ऊष्मा का बहुत ही खराब वाहक है… जब आप वायु-संचालित प्रणालियों का उपयोग करते हैं, तो आप चैंबर में मौजूद खाली स्थानों को गर्म करने हेतु बहुत सारी ऊर्जा बर्बाद कर रहे हैं। आईआर में ऐसी कोई आवश्यकता ही नहीं है… ऊर्जा सीधे ही वेफर की सतह पर पहुँच जाती है। इससे वेफरों को गर्म करने में बहुत ही कम समय लगता है… यह तो ऐसा ही है, जैसे कि आप किसी कमरे को हीटर से गर्म कर रहे हों… या फिर ठंडे दिन में सूरज की किरणों का अनुभव कर रहे हों।
“ओह…” का कारण
लेकिन आईआर में भी कुछ समस्याएँ हैं… चूँकि यह बहुत ही शक्तिशाली है, इसलिए आप आसानी से लक्षित तापमान से अधिक तापमान प्राप्त कर सकते हैं… यदि आपके सेंसर सस्ते या असटीक हैं, तो वेफरों पर अत्यधिक गर्मी पड़ सकती है… ऐसी स्थिति में वेफर नष्ट हो सकते हैं।
इसे रोकने हेतु हम “बंद-लूप फीडबैक” प्रणाली का उपयोग करते हैं… यह प्रणाली सिस्टम को वास्तविक समय में तापमान का अहसास करने में मदद करती है… और आवश्यकतानुसार ऊर्जा को समायोजित करती है… यह उन जटिल वायु-संचालित ओवनों की तुलना में बहुत ही बेहतर है।
वास्तविकता
अपने पुराने उपकरणों को हटाने से पहले, यह ध्यान रखें कि आईआर कोई जादुई समाधान नहीं है… यह बहुत ही अधिक तापमान पैदा करता है… इससे आपके उपकरणों पर अधिक दबाव पड़ता है… विशेष रूप से, आपके वैक्यूम सील एवं गैस्केटों पर भी अधिक दबाव पड़ता है… आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपके उपकरण ऐसी स्थितियों को सहन कर सकते हैं।
लेकिन यदि आप उत्पादन क्षमता बढ़ाना चाहते हैं, तो आईआर एक बेहतरीन विकल्प है… इसका आकार उन बड़े वायु-संचालित ओवनों की तुलना में बहुत ही छोटा है… इससे वेफरों को जल्दी ही तैयार किया जा सकता है… बिना सिलिकॉन को नष्ट किए।