半導体機械部品貿易

ファブフロアでは、ベーク温度の半度のずれは小さな差ではありません。それはウェーハのロス、仕様外にずれるフォトレジストの厚み、そしてライン停止の原因となる可能性があります。リソグラフィにおいて、熱制御は単なる付加価値ではなく、プロセスそのものです。 技術的に重要なポイント 熱モジュールはウェーハレベ...