MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

MEMSウェーハの乾燥における電気出力の最大化――金メッキされた反射ヒーターの活用 このヒーターを開発した理由は、投入されるすべての電力がウェーハ上で効果的に熱エネルギーとして利用されるようにするためです。MEMSの製造においては、単に温度を上げるだけでは不十分です。正確で再現性のある熱を供給し、...