なぜ赤外線ヒーターが壊れてしまうのか（そして、それを防ぐ方法） 赤外線ヒーターについてのちょっとした秘密があります。実際に故障するのは、加熱素子自体ではほとんどありません。ほとんどの場合、問題は配線がクォーツチューブに接続されている部分です。そこが最初に壊れてしまうのです。 ヒーターを限界まで使う...

熱の無駄遣いを止めよう：ウェーハを効率的に加熱する方法 従来の赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されてしまうことです。半導体製造装置内で作業する際、これは大きな問題です。高価な装置を使っているにもかかわらず、エネルギーの大部分がウェーハに届くどころか、装置の内壁に当たってしまいます。そ...