焼損したランプが全体のワークを台無しにするのを防ぐ方法 高負荷でウェーハを加熱処理しているとき、ランプが焼損するのは大変な問題です。単に停止時間が長くなるだけではありません。 石英ランプが破裂したら、ガラスの破片やハロゲンガスが直接シリコンウェーハに降り注ぎます。そうなれば、ウェーハはダメになり、...

ファブ内での熱による問題への対処法 機器の表面に触れただけで手が火傷してしまったことはありませんか？それが、通常の赤外線ヒーターが持つ問題点です。これらのヒーターはエネルギーをあちこちに放散してしまうのです。 狭い半導体製造場では、これは大きな問題です。もし機械の筐体がスペースヒーターのように機能...