B2Bウェーハ製造用部品

製造現場では、ラインは決して待つことはありません。リソグラフィー装置は連続して稼働しており、もしソフトベイクやハードベイクの温度がわずかにでも変動すれば、重要な寸法の精度が低下してしまいます。熱的な変動は単なる問題ではなく、不良品の発生や再作業、そして回復不可能な生産能力の損失という形で現れます。...