ファブの現場では、フォトレジストの焼成というのは決して単純な作業ではありません。ソフトベイク時に2℃の温度変動があると、ロット全体でCDのばらつきが生じます。ハードベイク時の不均一性は、製品の品質を著しく悪化させます。また、熱サイクルの際に発生する粒子も、リソグラフィーが終了する前に歩留まりを低下...

製造現場では、些細なことにも注意を払う必要があります。ソフトベイクの際に温度が0.1℃未満変動するだけで、ウェーハの寸法が狂い、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。従来のホットプレート型乾燥装置は熱慣性と戦わなければなりませんが、NIRウェーハ乾燥装置はそうではありません。 私たちが開発したもの...