省エネ型半導体ヒーター

なぜ半導体製造において熱風を使う方式から移行しているのか ほとんどの半導体製造ラインでは、依然として熱風を利用してウェーハを加熱・乾燥させている。これは古いやり方であり、正直、非常に非効率的だ。 空気は熱を伝える性能が悪い。ウェーハを適切な温度にするためには、チャンバー全体を加熱しなければならない...