クリーンルーム内のヒーターが問題を引き起こさないようにしましょう。 クリーンルームでは、わずかなミスでも大惨事につながります。ほんの少しのほこりであっても問題ですが、電気的な故障が起きたらそれは致命的です。こうした場所用に赤外線ヒーターを製造する際、加熱要素自体は重要です。しかし、本当の危険はラン...

クラス100のクリーンルームを運用しているなら、ご存知の通り、ほんのわずかなほこりでもウェーハの品質が悪化してしまいます。これは本当に厄介な問題です。一般的な加熱素子では、安定した状態を維持する必要があるのに、実際には剥がれ落ちたりガスを放出したりしてしまうため、使えません。 だからこそ、私たちは...