なぜ、すべてのランプをテストするのか？（そして、それがお客様の製造工程にとってなぜ重要なのか） 乾燥処理を行う際、高ワット数の熱と、極めてデリケートな電子部品を同時に扱わなければなりません。これは非常に厳しい状況です。絶縁処理にわずかなミスがあるだけで、全体のシステムが停止してしまいます。さらに悪...

なぜウェーハヒーターの絶縁試験を重視するのか？ ウェーハを高温で加熱する際、最も避けたいのが電気的な漏れです。わずかなスパークや不要な電流があれば、数秒で大量のシリコンが破壊されてしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。 そのため、私たちは「サンプル検査」を行いません。数個だけテストして良い結果...

なぜ半導体製造において熱風を使う方式から移行しているのか ほとんどの半導体製造ラインでは、依然として熱風を利用してウェーハを加熱・乾燥させている。これは古いやり方であり、正直、非常に非効率的だ。 空気は熱を伝える性能が悪い。ウェーハを適切な温度にするためには、チャンバー全体を加熱しなければならない...