以下に、次の分類用語を使用するページがあります “すすぐ” すすぎ用の防水赤外線ランプ マシンを加熱するのではなく、ウェーハを直接加熱しましょう。 一般的な赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位にエネルギーが散らばってしまいます。半導体製造装置の狭いスペースで作業する場合、これは大きな問題です。 その熱の多くは、ウェーハには全く当たらず、装置の内側の壁に... Read more...
すすぎ用の防水赤外線ランプ マシンを加熱するのではなく、ウェーハを直接加熱しましょう。 一般的な赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位にエネルギーが散らばってしまいます。半導体製造装置の狭いスペースで作業する場合、これは大きな問題です。 その熱の多くは、ウェーハには全く当たらず、装置の内側の壁に... Read more...