半導体ヒーター用熱電対

もうオーブンを待つのはやめましょう。なぜIR加熱が半導体加工に適しているのか もし今でも強制送風を使って半導体の深層加工を行っているのであれば、実質的に毎日「時間の代償」を支払っていることになります。 強制送風の仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気がウェーハを温めることを期待しま...