クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業を行う場合、わずかなほこりでも大問題となります。問題は、ほとんどのヒーターがあまりきれいではないということです。無菌状態を維持する必要がある瞬間に、これらのヒーターからは微細な粒子が放出されてしまいます。 私たちは...

リソグラフィーの工程では、温度の変動やゆっくりとした加熱が、本来安定しているはずのプロセスを台無しにしてしまうことがあります。ウェーハの乾燥やソフトベイク、ハードベイクには、再現性が高く、迅速で、かつ安定した熱源が必要です。当社では、追加コストをかけることなく、そのような条件を満たす短波赤外線石英...

ファブの現場では、フォトレジストの焼成というのは決して単純な作業ではありません。ソフトベイク時に2℃の温度変動があると、ロット全体でCDのばらつきが生じます。ハードベイク時の不均一性は、製品の品質を著しく悪化させます。また、熱サイクルの際に発生する粒子も、リソグラフィーが終了する前に歩留まりを低下...