ウェーハが加熱されるのを待つ時間を無駄にしないでください。 半導体製造工場で働いたことがある人なら、その「待つ」という苦痛をよく知っているでしょう。 深層加工において最も時間を食うのは、実際の処理自体ではなく、装置の温度上昇や冷却の過程です。従来の強制送風方式では、単に熱い空気を部屋中に送り込むだ...

不安定な環境でのIRランプの心配はやめましょう。 正直に言って、化学洗浄用の場所に赤外線ランプを設置するのは非常に危険なことです。可燃性の溶剤や爆発性の蒸気がある場所では、まるで火遊びをしているようなものです。ちょっとした火花やランプの破損だけで、大規模な火災につながりかねません。 そこで私たちは...

ヒーターによって水素センサーが損傷するのを防ぎましょう。 もしあなたがクラス100のクリーンルームで作業したことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。目に見えないものと常に戦っているのです。 本当の悩みは、ガスの放出です。 一般的な加熱素子は、実質的に汚染物質の発生源です。高温になると、微細な粒子...

ファブ内での炭素排出を削減するために：なぜ赤外線加熱が有効なのか 半導体製造工場をカーボンニュートラルにしようとするなら、もはや従来の抵抗式ヒーターに頼ることはできません。それらはあまりにもエネルギーを無駄にしてしまいます。 最近では、ウェーハ処理用の装置に赤外線加熱ランプを使用しています。その理...

MEMSウェーハの乾燥における電気出力の最大化――金メッキされた反射ヒーターの活用 このヒーターを開発した理由は、投入されるすべての電力がウェーハ上で効果的に熱エネルギーとして利用されるようにするためです。MEMSの製造においては、単に温度を上げるだけでは不十分です。正確で再現性のある熱を供給し、...