ウェーハが加熱されるのを待つ時間を無駄にしないでください。 半導体製造工場で働いたことがある人なら、その「待つ」という苦痛をよく知っているでしょう。 深層加工において最も時間を食うのは、実際の処理自体ではなく、装置の温度上昇や冷却の過程です。従来の強制送風方式では、単に熱い空気を部屋中に送り込むだ...

リソグラフィー工程において、焼成工程は単なる停止時間ではなく、むしろ許容範囲の境界となります。フォトレジストの挙動は温度によって決まり、わずか数十分の一度の温度変動でも、電気的なテストを行うまで気づかないほどの線幅の誤差が生じることがあります。大量生産の工場では、これはすぐにスクラップや再処理が必...