オゾンフリー赤外線ランプ

ファブ内では、ソフトベイクとハードベイクの工程で、ウェーハの形状が決定されます。わずか1℃の誤差が生じたり、ホットスポットがウェーハ上を移動したりすると、ウェーハの寸法精度が悪化します。ウェーハがエッチングチャンバーに入る前から、歩留まりが低下してしまいます。 技術的に重要な点 私たちは、オゾンを...