クリーンルームの設備をアップグレードする工場

クラス100のクリーンルームを運用しているなら、ご存知の通り、ほんのわずかなほこりでもウェーハの品質が悪化してしまいます。これは本当に厄介な問題です。一般的な加熱素子では、安定した状態を維持する必要があるのに、実際には剥がれ落ちたりガスを放出したりしてしまうため、使えません。 だからこそ、私たちは...