近赤外線 NIR ウェーハ乾燥機

製造現場では、些細なことにも注意を払う必要があります。ソフトベイクの際に温度が0.1℃未満変動するだけで、ウェーハの寸法が狂い、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。従来のホットプレート型乾燥装置は熱慣性と戦わなければなりませんが、NIRウェーハ乾燥装置はそうではありません。 私たちが開発したもの...