クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業を行う際、加熱というのは単に物を温めるためだけのものではありません。それは、微粒子との戦いでもあるのです。 一般的な加熱要素は、このような環境では問題を引き起こします。それらはガスや微小な破片を放出するからです。これ...

クリーンルーム内のヒーターが問題を引き起こさないようにしましょう。 クリーンルームでは、わずかなミスでも大惨事につながります。ほんの少しのほこりであっても問題ですが、電気的な故障が起きたらそれは致命的です。こうした場所用に赤外線ヒーターを製造する際、加熱要素自体は重要です。しかし、本当の危険はラン...

クラス100のクリーンルームを運用しているなら、ご存知の通り、ほんのわずかなほこりでもウェーハの品質が悪化してしまいます。これは本当に厄介な問題です。一般的な加熱素子では、安定した状態を維持する必要があるのに、実際には剥がれ落ちたりガスを放出したりしてしまうため、使えません。 だからこそ、私たちは...

クリーンルームでの空気を温めるためのエネルギーの無駄遣いをやめましょう。 半導体製造用のクリーンルームで働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェハーを一定の温度に保ちつつ、それを移動させるというのは、常に熱損失と戦っているようなものです。 ほとんどの人は対流式のヒーターを使用して...